Tibco News, 30 чэрвеня ўрад Нідэрландаў выдаў апошнія пастановы аб кантролі за экспартам паўправадніковага абсталявання, некаторыя СМІ інтэрпрэтавалі гэта як кантроль над фоталітаграфіяй супраць Кітая, які зноў абвастрыўся да ўсіх DUV.Фактычна, гэтыя новыя правілы экспартнага кантролю накіраваны на перадавыя тэхналогіі вытворчасці чыпаў 45 нм і ніжэй, у тым ліку сучаснае абсталяванне для атамнага нанясення ALD, абсталяванне для эпітаксійнага росту, абсталяванне для плазменнага нанясення і сістэмы апускальнай літаграфіі, а таксама тэхналогіі і праграмнае забеспячэнне, якія выкарыстоўваюцца выкарыстоўваць і развіваць такое перадавое абсталяванне.
У заяве для Tibco ASML падкрэсліла, што новыя рэгламенты галандскага ўрада па кантролі за экспартам ахопліваюць толькі некаторыя з апошніх мадэляў DUV, у тым ліку TWINSCAN NXT:2000i і наступныя сістэмы иммерсионной літаграфіі.Літаграфія EUV раней была абмежаваная, а пастаўкі іншых сістэм не кантралююцца ўрадам Нідэрландаў.Згодна з інфармацыяй з афіцыйнага вэб-сайта ASML, сістэма іммерсійнай літаграфіі DUV, у тым ліку: TWINSCAN NXT:2050i, NXT:2050i, NXT:1980Di, тры літаграфічныя машыны, могуць выконваць працэс апрацоўкі пласцін 38-45 нм.
Акрамя таго, машыны для сухой літаграфіі DUV, здольныя апрацоўваць пласціны звыш 45 нм, напрыклад, працэс 65 нм ~ 220 нм, такія як TWINSCAN XT:400L, XT:1460K, NXT:870 і г.д., не ўключаны ў санкцыйны спіс Нідэрландаў.
Нідэрландскі кантрольны спіс, у перакладзе Tibco, выглядае наступным чынам:
Палажэнне МінБуза.2023.15246-27, выдадзенае Міністрам знешняга гандлю і супрацоўніцтва ў галіне развіцця Нідэрландаў, прадугледжвае ліцэнзійныя патрабаванні да экспарту сучаснага вытворчага абсталявання для вытворчасці паўправаднікоў, не згаданага раней у Дадатку I Палажэння № 2021/821 (у дачыненні да сучасных паўправаднікоў). вытворчае абсталяванне)
Артыкул 2: Гэтая пастанова забараняе экспарт сучаснага абсталявання для вытворчасці паўправаднікоў з Нідэрландаў без дазволу міністра.
Артыкул 3:
1. Заяўка на выдачу дазволу, згаданая ў Артыкуле 2, падаецца экспарцёрам і перадаецца пракурору.
2. У любым выпадку заяўка павінна змяшчаць:
а) імя і адрас экспарцёра;
b) Імя і адрас атрымальніка і канчатковага карыстальніка сучаснага абсталявання для вытворчасці паўправаднікоў;
c) Імя і адрас атрымальніка і канчатковага карыстальніка сучаснага абсталявання для вытворчасці паўправаднікоў.
3, у любым выпадку, пракурор мае права запатрабаваць ад экспарцёра дамову аб экспарце, а таксама заяву аб канчатковым выкарыстанні.
Артыкул 4:
Ліцэнзія, апісаная ў артыкуле 2, можа залежаць ад умоў і палажэнняў.
Выдача ліцэнзіі, апісанай у Артыкуле 2, можа існаваць з умовамі.
Артыкул V:
Ліцэнзіі, згаданыя ў артыкуле II, могуць быць адкліканы ў наступных выпадках:
a) Ліцэнзія была выдадзена на падставе няправільнай або няпоўнай інфармацыі;
b) Умовы і абмежаванні ліцэнзіі не выконваліся;
c) З меркаванняў нацыянальнай знешняй палітыкі і палітыкі бяспекі.
Час публікацыі: 2 ліпеня 2023 г